目前市場上常見的rohs檢測類儀器，一般是X射線熒光分析儀，X射線熒光分析儀又分為能量色散型X熒光光譜儀和波長色散型X熒光光譜儀，能量色散型X熒光光譜儀因其技術原理及結構比波長色散型X熒光光譜儀簡單，現市場上比較常見，其工作原理是：特征X射線。
放射性同位素源或X射線發生器放出的X射線或Γ射線與樣品中元素的原子相互作用，逐出原子內層電子。當外層電子補充內層電子時，會放射該原子所固有能量的X射線-特征X射線。
不同元素特征X射線能量各不相同，依此進行定性分析；再根據特征X射線強度大小，可進行定量分析。
可用函數關系式表示為：C=f(k1I1, k2I2, k3I3...)
式中：Kn(n=1,2,3…)表示第n號元素的待定系數
In(n=1,2,3…)表示第n號元素釋放的特征X射線強度
由此可知只要通過標定確定系數Kn之后便可進行物質中元素的定量分析了。
在中華人民共和國境內生產、銷售和進口電子信息產品過程中控制和減少電子信息產品對環境造成污染及產生其它公害，適用本辦法。但是，出口產品的生產除外。
RoHS檢測儀是為了控制生產商生產的產品中對人體健康有害的重金屬含量。比如空調、洗衣機、吸塵器、熱水器、手機、這些產品在人們生活中都會經常遇到，而重金屬超標會影響人體健康。所以RoSH檢測也是非常必要的！