X熒光分析法是一種表面分析方法，它的樣品種類比較多，有固體、粉末和液體等，在使用X熒光光譜儀進行樣品測試時，誤差的來源有哪些，引起的誤差原因又有哪些。
引起誤差的來源存在于樣品的制備和樣品本身引起的誤差。
（1）樣品的均勻性。
（2）樣品的表面效應。
（3）粉末樣品的粒度和處理方法。
（4）樣品中存在的譜線干擾。
（5）樣品本身的共存元素影響即基體效應。
（6）樣品的性質。
（7）標準樣品的化學值的準確性。
另外，引起樣品的誤差原因有：
（1）樣品物理狀態不同：樣品的顆粒度、密度、光潔度不一樣；樣品的沾污、吸潮，液體樣品的受熱膨脹，揮發、起泡、結晶及沉淀等。
（2）樣品的組分分布不均勻：樣品組分的偏析、礦物效應等。
（3）樣品的組成不一致：引起吸收、增qiang效應的差異造成的誤差。
（4）被測元素化學結合態的改變：樣品氧化，引起元素百分組成的改變；輕元素化學價態不同時，譜峰發生位移或峰形發生變化引起的誤差。
（5）制樣操作：在制樣過程中的稱量造成的誤差，稀釋比不一致，樣品熔融不完全，樣品粉碎混合不均勻，用于合成校準或基準試劑的純度不夠等。