利用原級(jí)X射線光子或其他微觀粒子激發(fā)待測(cè)物質(zhì)中的原子，使其產(chǎn)生熒光（次級(jí)X射線），進(jìn)而開展物質(zhì)成分分析與化學(xué)態(tài)研究的方法，便是X射線熒光光譜分析法。在成分分析領(lǐng)域，它已成為現(xiàn)代常規(guī)分析的重要手段之一。
熒光X射線分析儀依據(jù)性能和應(yīng)用范圍，有著不同的分類。實(shí)驗(yàn)室中常用的是X射線熒光光譜儀和能譜儀，它們能提供精準(zhǔn)詳細(xì)的分析數(shù)據(jù)；小型便攜式X射線熒光分析儀便于攜帶，適合野外和現(xiàn)場(chǎng)分析；工業(yè)上也有專門適配的儀器，滿足不同場(chǎng)景需求。
在定性和半定量分析方面，該方法優(yōu)勢(shì)顯著。其譜線簡單，分析過程不破壞樣品，基體的吸收和增強(qiáng)效應(yīng)較易克服，操作簡便且測(cè)定迅速。野外和現(xiàn)場(chǎng)分析時(shí)，便攜式X射線熒光分析儀就能發(fā)揮作用，快速獲取物質(zhì)的主次成分信息。若在室內(nèi)使用X射線能譜儀，還能一次在熒光屏上顯示全譜，讓物質(zhì)成分一目了然。
定量分析分為實(shí)驗(yàn)校正法和數(shù)學(xué)校正法，二者都基于分析元素的X射線熒光強(qiáng)度與含量存在定量關(guān)系。70年代前，數(shù)學(xué)校正法發(fā)展較慢，主要應(yīng)用于組成簡單的物料，實(shí)驗(yàn)校正法更為常用，像外標(biāo)法、內(nèi)標(biāo)法等多種方法各有適用場(chǎng)景。70年代后，隨著X射線熒光分析理論和方法的深入發(fā)展，以及儀器自動(dòng)化和計(jì)算機(jī)化程度的提高，數(shù)學(xué)校正法得到廣泛應(yīng)用，包括經(jīng)驗(yàn)系數(shù)法、基本參數(shù)法等。這些方法能有效計(jì)算和校正基體的吸收和增強(qiáng)效應(yīng)對(duì)分析結(jié)果的影響，還能處理譜線干擾和計(jì)數(shù)死時(shí)間問題。除基本參數(shù)法外，其他方法大多迅速方便且準(zhǔn)確度高，在眾多領(lǐng)域中，無論是少量還是常量元素分析，結(jié)果都能與經(jīng)典化學(xué)分析法相媲美，因此和原子吸收光譜法、等離子體光譜分析法一起，成為儀器分析的主要手段。
X射線熒光光譜分析法憑借多樣儀器類型、獨(dú)特分析優(yōu)勢(shì)以及不斷發(fā)展的定量方法，在物質(zhì)分析領(lǐng)域站穩(wěn)腳跟，與多種經(jīng)典方法并駕齊驅(qū)，未來必將持續(xù)綻放光彩，助力科研與生產(chǎn)邁向新高度。