目前X熒光光譜儀有三種，分別是波長色散型X熒光光譜儀，普通能量色散型X熒光光譜儀，偏振式能量色散X熒光光譜儀，那他們在結構上有什么差別。
波長色散型熒光光譜儀（WD-XRF），一般由光源（X-射線管）、樣品室、分光晶體和檢測系統等組成。為了準確測量衍射光束與入射光束的夾角，分光晶體是安裝在一個精密的測角儀上，還需要一龐大而精密并復雜的機械運動裝置。由于晶體的衍射，造成強度的損失，需要作為光源的X射線管的功率要大，一般為2～3千瓦。但X射線管的效率極低，只有1%的電功率轉化為X射線輻射功率，大部分電能均轉化為熱能產生高溫，所以X射線管需要專門的冷卻裝置（水冷或油冷），這就使得儀器結構比較復雜，硬件成本高，因此波譜儀的價格比能譜儀要高的多。
普通能量色散型X熒光光譜儀（ED-XRF），一般由光源（X-射線管）、濾光片、樣品室和檢測系統等組成，與波長色散型X熒光光譜儀（WD-XRF）的區別在于它不用分光晶體，機構比較簡單，價位比較低，但輕元素的檢出限較高。
偏振器
偏振式能量色散X熒光光譜儀ED（P）-XRF，不采用濾光片，而采用偏振次級靶，其它與普通能量色散X熒光光譜儀（ED-XRF）相似，結構也比較簡單，價位也遠低于波長色散型熒光光譜儀（WD-XRF），但在輕元素的檢出限方面接近波長色散型熒光光譜儀（WD-XRF）。
以上就是三種X熒光光譜儀的結構不同點，希望對大家有幫助。